發(fā)布時間：2017-06-01 瀏覽量：5353
fpc軟板生產(chǎn)制程中，影響蝕刻速度和品質(zhì)的主要因子有這些：溫度、攪拌、化學設(shè)備。溫度和攪拌是受到生產(chǎn)機械的控制，可以作為一個整體制程品質(zhì)觀察指標。多數(shù)蝕刻機是水準傳送結(jié)構(gòu)，并具有超過一個以上的噴流段，有獨立的控制、搖擺噴流管、頂部和底部調(diào)整機構(gòu)、承接回流蝕刻劑的母槽進行補充或取代。后續(xù)的機構(gòu)和間隔沿著輸送機構(gòu)配置，水洗中和蝕刻劑殘留并進行蝕刻后的化學處理。
采用噴流來輔助強制讓新鮮蝕刻溶液進入狹窄的空間，因此可以增加生產(chǎn)速度。噴流會有某種程度的制程方向性，它傾向在噴流動量的方向增加蝕刻速率，而相對降低不期待的橫向方向構(gòu)建，垂直蝕刻機強調(diào)的優(yōu)勢是制程會更均勻，因為沒有水準機械的水滯效應影響均勻度。不過在上方的邊緣會傾向于更快的蝕刻，因為溶液總是從同一個方向流失。
水準設(shè)備制作是比較簡單也普遍被業(yè)者使用的模式，當片狀軟板上增加蝕刻劑會在材料上方聚集成為水滯并降低反應速率，這方面可以強制調(diào)整頂部對底部的噴嘴壓力或只使用底部來應對特定產(chǎn)品。關(guān)掉頂部噴嘴會減半雙面板的產(chǎn)出，但是可以增加可能的控制能力來補償增加成本，特別是在一些細線路的產(chǎn)品應用。噴嘴的配置和操作壓力會明顯沖擊蝕刻速度和均勻度，各個機械必須小心評估測量測試片和調(diào)整產(chǎn)出速度，操作壓力、噴嘴尺寸、搖擺頻率和化學品狀態(tài)必須要取得佳的妥協(xié)。
水準輸送設(shè)備比較難以操作fpc基材，可能需要以膠帶黏貼導引板到軟板基材上，引導他通過水準輸送系統(tǒng)。水準輸送設(shè)備的設(shè)計，頂部和底部滾輪都有驅(qū)動齒輪在各個邊同時有噴洗管。這個復雜設(shè)計的目的，是要提供大的暴露空間給頂部和底部基材表面，同時提供可靠的傳輸能力，但是需要將滾輪的軸縮小并重疊滾輪和搭配均勻噴流。
近一些從業(yè)者提出了二流體蝕刻設(shè)備的概念，其所強調(diào)的技術(shù)重點，是利用高壓空氣和蝕刻噴流系統(tǒng)混合，進行銅箔的蝕刻作業(yè)。這類系統(tǒng)采用的是過蝕操作，利用高解析度的光阻和比較大的補償設(shè)計，來進行fpc線路制作。目前宣稱的制作能力，可以在厚度15um左右的銅箔上制作出15/15um的線寬間距。目前已經(jīng)有部分廠商采用這類設(shè)備制作很細的線路。
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